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CentroTherm 臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)HORICOO200

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更新時(shí)間：2023-02-24 16:51:29瀏覽次數(shù)：151次

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centrotherm臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)HORICOO200是大量現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證及具有多功能的臥式爐系統(tǒng)，基于客戶(hù)需求可靈活選擇大、中批量生產(chǎn)以及研發(fā)類(lèi)型機(jī)臺(tái)
centrotherm 臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)HORICOO 200 是大量現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證及具有多功能的臥式爐系統(tǒng)，基于客戶(hù)需求可靈活選擇大、中批量生產(chǎn)以及研發(fā)類(lèi)型機(jī)臺(tái)。為AP、LP和PECVD等多種工藝應(yīng)用提供了可靠的工藝能力和很高的工藝性能。此外，同一系統(tǒng)不同工藝爐管可以匹配相關(guān)設(shè)施(大氣、真空或混合)配置不同的工藝。

所有的爐管均配備一個(gè)綜合的晶舟處理系統(tǒng)，其可以存放多達(dá)8個(gè)工藝晶舟，同時(shí)也集成有一個(gè)晶圓傳輸系統(tǒng)。水冷式加熱器外殼和軟著陸系統(tǒng)設(shè)計(jì)能限度排除外部環(huán)境影響。且易于維護(hù)，能確保低維護(hù)成本及高的正常運(yùn)行時(shí)間。

產(chǎn)品適用于退火、擴(kuò)散、氧化、低壓化學(xué)氣相沉積、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積等工藝。

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)

大氣壓加工、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積加工與低壓化學(xué)氣相沉積加工
能提供多種加工腔方案
*的水冷卻系統(tǒng)保證不同的工藝爐管之間無(wú)熱干擾

模塊化部件設(shè)計(jì)，便于在潔凈室內(nèi)安裝與啟動(dòng)生產(chǎn)

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