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思顯光電技術(shù)（上海）有限公司

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光譜共焦位移傳感器

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光譜共焦位移傳感器測(cè)量能力可滿足更多的測(cè)量需求1.THINKFOCUS光譜共焦位移傳感器CDS-500光斑更小

詳細(xì)介紹

光譜共焦位移傳感器

測(cè)量能力——可滿足更多的測(cè)量需求

1.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500光斑更小。

2.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500 無(wú)平均化處理。

3.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500 可同時(shí)適應(yīng)多種材料，且穩(wěn)定測(cè)量。

主要型號(hào)參數(shù)

OP2-Fc

安裝距離：11mm

量程：±190

線性度：±0.02%F.S.

分辨率：10nm

光斑：10um

OP3-Fc

安裝距離：12.7mm

量程：±550

線性度：±0.02%F.S.

分辨率：20nm

光斑：12um

OP4-Fe

安裝距離：19mm

量程：±1700

線性度：±0.02%F.S.

分辨率：40nm

光斑：20um

OP5-Fe

安裝距離：30mm

量程：±5000

線性度：±0.02%F.S.

分辨率：300nm

光斑：25um

規(guī)格/測(cè)頭

型號(hào)With CDS-500		OP1	OP2	OP3	OP4	OP5
安裝距離	mm	8	11	12.7	19	30
量程	μm	±55	±190	±550	±1700	±5000
傾角	deg	±45°	±28°	±25°	±21°	±14°
放大器型號(hào)		Fc	Fc	Fc	Fe	Fe
光斑尺寸	μm	2	10	12	20	25
位移測(cè)量
分辨率(平均128次)	nm	2	5	10	20	150
精度		±0.02%F.S.	±0.02%F.S.	±0.02%F.S.	±0.02%F.S.	±0.02%F.S.
厚度測(cè)量
最小厚度測(cè)量	μm	5	12	22	66	192
厚度測(cè)量	μm	100	460	1540	4390	14850
長(zhǎng)度	mm	208	176	176	130.5	145.5
直徑	mm	27/40	27	27	27	27

規(guī)格/控制器

型號(hào)	CDS-500
采樣頻率	200 to 4500 points/sec 用戶可定義
光源	藍(lán)色激光
測(cè)量模式	位移/厚度
通訊控制	以太網(wǎng)
編碼器	增量式（A/B項(xiàng)）
同步I/O	1 Trigger input(TTL)5V
光纖連接器	FC/APC
兼容性	兼容所有型號(hào)測(cè)頭
電源/功耗	24V DC 3A
工作溫度	5℃-40℃
放置溫度	-30℃-70℃
相對(duì)濕度	5%-80%無(wú)冷凝
防護(hù)等級(jí)	IP 40

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