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輔光精密儀器(上海)有限公司


晶圓貼膜機(jī)

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更新時間:2023-07-12 14:04:13瀏覽次數(shù):186次

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產(chǎn)品簡介

晶圓貼膜機(jī)是UltronSystems的晶圓合框機(jī),可對6英寸、8英寸和12英寸晶圓快速貼膜

詳細(xì)介紹

晶圓貼膜機(jī)是Ultron Systems的晶圓合框機(jī),可對6英寸、8英寸和12英寸晶圓快速貼膜。
對于切割/鋸切應(yīng)用,均勻的粘合薄膜層至關(guān)重要。我們的晶圓貼膜機(jī)具有易于調(diào)節(jié)的彈簧加載輥組件,以及沿x軸和y軸的薄膜張緊桿,以確保薄膜與晶片和薄膜框架的無氣泡層壓。此外,兩款機(jī)型均配備可伸縮薄膜切割系統(tǒng),切割壓力可調(diào),以適應(yīng)各種膠帶基材和厚度。根據(jù)不同的工藝要求和適應(yīng)不同的晶片厚度,從裝置的上部調(diào)整輥壓力。
晶圓貼膜機(jī)數(shù)字溫度控制器確保工作臺溫度一致,可重復(fù)安裝??烧{(diào)定位銷和真空杯可容納幾乎任何類型的薄膜框架,包括塑料。對于不同的晶片厚度,工作臺高度也可相對于框架高度進(jìn)行調(diào)整。
晶圓貼膜機(jī)有6英寸、8英寸和12英寸的晶片/薄膜框架型號,其特點是:
晶圓貼膜機(jī)特點
易于調(diào)節(jié)的彈簧加載滾輪組件
-均勻的薄膜張力:薄膜張緊桿(對于UH114,沿x/y軸和前部/后部;對于UH14-8,-12,在前部和后部)
-均勻粘合提供無氣泡層壓
-圓形切割機(jī)(輪型),用于在膠片架上切割膠片
-不同薄膜的可調(diào)切割壓力(厚度/硬度)
-數(shù)字溫控臺板
-從裝置頂部開始的可調(diào)節(jié)工作臺高度
-使用無背襯或背襯(可選)膠片進(jìn)行操作
-容納纏繞在外部或內(nèi)部的薄膜/保護(hù)層
-可調(diào)定位銷和真空杯
-接受所有膠片框架(類型和尺寸)
-用于膜分離的端部切割器
-可容納高達(dá)6英寸的晶圓(UH114);高達(dá)8英寸的晶片(UH14-8);高達(dá)12英寸的晶片(UH114-12)
晶圓貼膜機(jī)規(guī)格型號
UH114型:
-真空固定標(biāo)準(zhǔn)晶片臺:高達(dá)6“晶片或3“-6”多卡盤
-薄晶片臺,最多6英寸晶片
型號UH114-8:
-真空固定標(biāo)準(zhǔn)晶片臺,最多8英寸晶片
-薄晶片臺,高達(dá)8“晶片
-膜架轉(zhuǎn)接環(huán):8“<=>6”
UH114-12型:
-用于12”(300mm)晶片的真空固定標(biāo)準(zhǔn)晶片臺
-用于8“晶片的真空固定標(biāo)準(zhǔn)晶片臺(需要適配器,見下文)
-8“晶片膜架適配器
-薄晶片臺,最多12英寸晶片
-膜架轉(zhuǎn)接環(huán):12“<=>8”

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