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YAMATO雅馬拓等離子清洗機(jī) V1000

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

更新時(shí)間：2020-12-22 08:59:11瀏覽次數(shù)：213次

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YAMATO雅馬拓等離子清洗機(jī) V1000使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單"的臺(tái)式 高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng) 多種用途。

13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式 高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng) 多種用途。
特征
●  可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
●  搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
●  可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

YAMATO雅馬拓等離子清洗機(jī) V1000用途
●  硅晶圓的灰化及蝕刻
●  基板表面污垢處理
●  IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●  半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
●  自然氧化膜·有機(jī)物去除
●  界面活性處理
●  表面污染物去除

內(nèi)槽


YAMATO雅馬拓等離子清洗機(jī) V1000規(guī)格

 

型號(hào)V1000V1000XV1000XS
等離子模式DP/RIE
高頻電源13.56MHz
輸出功率Max1000WMax1000 & 1500W
有效電極尺寸W280×D280mmW300×D300mmW400×D375mm
電極平行平板2段電極（獨(dú)立）平板（多目的）
反應(yīng)氣體聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標(biāo)配）約1000L/min約1500L/min1000 & 1500L/min
安全裝置門檢測(cè)開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等


管路連接圖

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