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電子行業(yè)超純水常規(guī)制備工藝
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- 濟(jì)寧格瑞水務(wù)有限公司嘉祥分處
- 2018-05-16 15:23:50
- 濟(jì)寧市
- 321
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
| 電子行業(yè)超純水常規(guī)制備工藝 |
電子行業(yè)超純水常規(guī)制備工藝
1）采用離子交換方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)
2）采用反滲透加離子交換方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→反滲透機(jī)→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→反滲透機(jī)→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)
3）采用反滲透加EDI方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→反滲透機(jī)→EDI系統(tǒng)→拋光混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→反滲透機(jī)→EDI系統(tǒng)→拋光混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)
中國國家電子超純水規(guī)格GB/T1146.1-1997
| 級(jí)別 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ |
| 電阻率 MΩ·cm（25℃） | 18 （95%時(shí)間） 不低于17 | 15 （95%時(shí)間） 不低于13 | 12.0 | 0.5 |
| 全硅 zui大值ug/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
| >1um微粒數(shù)，zui大值 個(gè)/ml | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
| 細(xì)菌數(shù)，zui大值，個(gè)/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
| 銅，zui大值 ug/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
| 鋅，zui大值 ug/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
| 鎳，zui大值 ug/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
| 鈉，zui大值 ug/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
| 鉀，zui大值 ug/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
| 氯，zui大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 1000 |
| 硝酸根，zui大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 500 |
| 磷酸根，zui大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 500 |
| 硫酸根，zui大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 500 |
| 總有機(jī)碳，zui大值 ug/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
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：董
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：gretech1995
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