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BPG402-Sx 系列真空計(jì)

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INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG402-S型復(fù)合真空計(jì)將兩種真空計(jì)的功能融合到一個(gè)緊湊型裝置中，測(cè)量范圍為5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）

詳細(xì)介紹

 

INFICON 貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG402-S型復(fù)合真空計(jì)將兩種真空計(jì)的功能融合到一個(gè)緊湊型裝置中，測(cè)量范圍為 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。多項(xiàng)技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真空計(jì)，價(jià)格經(jīng)濟(jì)，且可重復(fù)測(cè)量基準(zhǔn)壓力。傳感元件自帶的在軌校準(zhǔn)數(shù)據(jù)在更換傳感器時(shí)確保了高再現(xiàn)性。

BPG402-Sx

益處

  • 測(cè)量范圍非常廣，從 5×10-10毫巴至大氣壓（8×10-10 托至大氣壓）
  • 10-8… 10-2 毫巴過(guò)程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)單絲，防止過(guò)早燒毀
  • 兩根使用壽命長(zhǎng)的氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
  • 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
  • 易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保高再現(xiàn)性
  • RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

  • 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

 


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