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更新時間：2025-02-26 08:18:30瀏覽次數(shù)：73次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工機械設(shè)備網(wǎng)一．SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱，100級潔凈烤箱概述百級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗
一．SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱，100級潔凈烤箱概述
百級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。設(shè)備可以使用TCP / IP（使用HSMS標(biāo)準(zhǔn)，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監(jiān)控和控制。
二．SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱，100級潔凈烤箱特點
? SECS / GEM是用于設(shè)備到主機數(shù)據(jù)通信的半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設(shè)備處理，收集測量數(shù)據(jù)，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。 SECS（SEMI設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)）/ GEM（通用設(shè)備模型）標(biāo)準(zhǔn)以確定的方式完成所有這些工作。
? 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；
? 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
? 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
? 強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。
三．SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱，100級潔凈烤箱技術(shù)參數(shù)
1.主要技術(shù)指標(biāo)
? 無塵等級：Class 100/10;
? 溫度均勻度：±2℃;
? 溫度波動度：±0.5℃（空載）；
? 溫控精度：±0.1℃;
? 進風(fēng)口：φ6mmN2進氣、流量計控制;
? 排風(fēng)口： φ3"排風(fēng)管（外接φ5＂法蘭）;
? 網(wǎng)板：2-5層，
? 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。 四．SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱，100級潔凈烤箱常用規(guī)格 容積 型號 控溫范圍 控溫精度 電源電壓 內(nèi)膽尺寸（mm） 180L JS-MOL18 RT-200/300℃ ±1℃ 380V/50Hz W600*D500*H600 270L JS-MOL27 RT-200/300℃ ±1℃ 380V/50Hz W600*D500*H900 480L JS-MOL48 RT-200/300℃ ±1℃ 380V/50Hz W800*D600*H1000 640L JS-MOL64 RT-200/300℃ ±1℃ 380V/50Hz W800*D800*H1000 980L JS-MOL98 RT-200/300℃ ±1℃ 380V/50Hz W1400*D700*H1000 1800L JS-MOL180 RT-200/300℃ ±1℃ 380V/50Hz W1200*D1000*H1500 2700L JS-MOL270 RT-200/300℃ ±1℃ 380V/50Hz W1500*D1200*H1500
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