兆聲清洗系統(tǒng)
點(diǎn) 式噴淋
Point type

YMMS

  兆聲波清洗是利用換能器發(fā)出兆赫級(jí)高能聲波, 溶液分子在這種聲波的推動(dòng)下作加速運(yùn)動(dòng)，以強(qiáng)的聲壓梯度及聲流作用產(chǎn)生的高速流體力學(xué)層連續(xù)沖擊，使吸附的微細(xì)顆粒解吸的清洗技術(shù)。

兆聲清洗特點(diǎn)
兆聲波清洗不會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的空化效應(yīng)，可以避免在清洗過程中造成對(duì)清洗對(duì)象表面的損傷與污染物殘留。兆聲波清洗效率高、時(shí)間短，使用清洗劑濃度低，化學(xué)試劑的消耗量少，因此對(duì)環(huán)境的危害水平較低。

設(shè)備特性
● 單點(diǎn)噴淋式兆聲清洗，相比傳統(tǒng)槽式清洗，可解決清洗液二次污染問題；
● 極低的空化效應(yīng)，不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷；
● 無金屬材質(zhì)接觸液體，無導(dǎo)電物質(zhì)脫落風(fēng)險(xiǎn)；
● 高防腐性，可耐各種酸堿溶液及有機(jī)溶劑；
● 超高清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒；
● 全面非金屬高防腐材質(zhì)，適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑；
● 石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù)，無雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)；
● 的換能器貼合技術(shù)，更高的穩(wěn)定性和耐久性；
● 創(chuàng)新型半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器，全面實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)；

應(yīng)用領(lǐng)域
● CMP化學(xué)機(jī)械拋光 ● 鍵合前清洗 ● 掩膜清洗
● 顯影 ● 去膠 ● Lift-off金屬剝離
● 濕法刻蝕 ● 鏡頭清洗 ● 顯示屏等微電子行業(yè)精密清洗

兆聲清洗系統(tǒng)
點(diǎn) 式噴淋
Point type

YMMS

  兆聲波清洗是利用換能器發(fā)出兆赫級(jí)高能聲波, 溶液分子在這種聲波的推動(dòng)下作加速運(yùn)動(dòng)，以強(qiáng)的聲壓梯度及聲流作用產(chǎn)生的高速流體力學(xué)層連續(xù)沖擊，使吸附的微細(xì)顆粒解吸的清洗技術(shù)。

兆聲清洗特點(diǎn)
兆聲波清洗不會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的空化效應(yīng)，可以避免在清洗過程中造成對(duì)清洗對(duì)象表面的損傷與污染物殘留。兆聲波清洗效率高、時(shí)間短，使用清洗劑濃度低，化學(xué)試劑的消耗量少，因此對(duì)環(huán)境的危害水平較低。

設(shè)備特性
● 單點(diǎn)噴淋式兆聲清洗，相比傳統(tǒng)槽式清洗，可解決清洗液二次污染問題；
● 極低的空化效應(yīng)，不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷；
● 無金屬材質(zhì)接觸液體，無導(dǎo)電物質(zhì)脫落風(fēng)險(xiǎn)；
● 高防腐性，可耐各種酸堿溶液及有機(jī)溶劑；
● 超高清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒；
● 全面非金屬高防腐材質(zhì)，適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑；
● 石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù)，無雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)；
● 的換能器貼合技術(shù)，更高的穩(wěn)定性和耐久性；
● 創(chuàng)新型半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器，全面實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)；

應(yīng)用領(lǐng)域
● CMP化學(xué)機(jī)械拋光 ● 鍵合前清洗 ● 掩膜清洗
● 顯影 ● 去膠 ● Lift-off金屬剝離
● 濕法刻蝕 ● 鏡頭清洗 ● 顯示屏等微電子行業(yè)精密清洗
暫無相關(guān)參數(shù)
暫無相關(guān)資料

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