兆聲清洗系統(tǒng)
線型清洗
Line type

YMMS

● 比傳統(tǒng)型號更小更輕；
● 從噴嘴向水流施加波壓力會在水中產(chǎn)生粒子加速，水粒子運(yùn)動會去除物鏡上的亞微米污染；
● 新鮮的去離子水供應(yīng)避免了清潔介質(zhì)內(nèi)的再污染；
● 清洗水以單線形式供給，可有效清洗液晶玻璃等寬幅材料；
● 高頻兆聲波對細(xì)顆粒污染有效；
● 輸出功率控制可調(diào)節(jié)功率，適用于磁頭等精密物體；

兆聲清洗特點(diǎn)
  兆聲波清洗不會產(chǎn)生強(qiáng)烈的空化效應(yīng)，可以避免在清洗過程中造成對清洗對象表面的損傷與污染物殘留。兆聲波清洗效率高、時(shí)間短，使用清洗劑濃度低，化學(xué)試劑的消耗量少，因此對環(huán)境的危害水平較低。

使用方法
● 鏡面拋光后或氣相沉積 GaAs 晶圓前的清洗；
● LCD 玻璃、HDD 介質(zhì)或硅晶片的清洗；
● 用于 CMP 后處理的清潔；

設(shè)備特性
● 流量：8L-60L/min；
● 噴嘴狹縫尺寸：95mm-600mm；
● 有效清潔區(qū)域：80mm-580mm；
● 比傳統(tǒng)型號更小更輕；
● 從噴嘴向水流施加聲波壓力會在水中產(chǎn)生粒子加速，水粒子運(yùn)動會去除物鏡上的亞微米污染；
● 新鮮的去離子水供應(yīng)避免了清潔介質(zhì)內(nèi)的再污染；
● 清洗水以單線形式供給，可有效清洗液晶玻璃等寬幅材料；
● 高頻兆聲波對細(xì)顆粒污染有效；
● 輸出功率控制可調(diào)節(jié)功率，適用于磁頭等精密物體；
● 適合流水線量產(chǎn)型在線清洗處理；

兆聲清洗系統(tǒng)
線型清洗
Line type

YMMS

● 比傳統(tǒng)型號更小更輕；
● 從噴嘴向水流施加波壓力會在水中產(chǎn)生粒子加速，水粒子運(yùn)動會去除物鏡上的亞微米污染；
● 新鮮的去離子水供應(yīng)避免了清潔介質(zhì)內(nèi)的再污染；
● 清洗水以單線形式供給，可有效清洗液晶玻璃等寬幅材料；
● 高頻兆聲波對細(xì)顆粒污染有效；
● 輸出功率控制可調(diào)節(jié)功率，適用于磁頭等精密物體；

兆聲清洗特點(diǎn)
  兆聲波清洗不會產(chǎn)生強(qiáng)烈的空化效應(yīng)，可以避免在清洗過程中造成對清洗對象表面的損傷與污染物殘留。兆聲波清洗效率高、時(shí)間短，使用清洗劑濃度低，化學(xué)試劑的消耗量少，因此對環(huán)境的危害水平較低。

使用方法
● 鏡面拋光后或氣相沉積 GaAs 晶圓前的清洗；
● LCD 玻璃、HDD 介質(zhì)或硅晶片的清洗；
● 用于 CMP 后處理的清潔；

設(shè)備特性
● 流量：8L-60L/min；
● 噴嘴狹縫尺寸：95mm-600mm；
● 有效清潔區(qū)域：80mm-580mm；
● 比傳統(tǒng)型號更小更輕；
● 從噴嘴向水流施加聲波壓力會在水中產(chǎn)生粒子加速，水粒子運(yùn)動會去除物鏡上的亞微米污染；
● 新鮮的去離子水供應(yīng)避免了清潔介質(zhì)內(nèi)的再污染；
● 清洗水以單線形式供給，可有效清洗液晶玻璃等寬幅材料；
● 高頻兆聲波對細(xì)顆粒污染有效；
● 輸出功率控制可調(diào)節(jié)功率，適用于磁頭等精密物體；
● 適合流水線量產(chǎn)型在線清洗處理；
暫無相關(guān)參數(shù)
暫無相關(guān)資料

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