
兆 聲 清 洗 系 統(tǒng)
高 頻 兆 聲 清 洗 機(jī)
Tank type

YMMS
● 兆聲振板,用于組裝槽式兆聲清洗設(shè)備;
● 1MHz超高頻波,更精細(xì)的聲處理效應(yīng);
● 均勻的兆聲聲場,振板表面聲強(qiáng)可超過5W/cm2;
● 的石英及藍(lán)寶石耦合技術(shù),無雜質(zhì)脫落風(fēng)險;
● 超低的聲空化效應(yīng),不損傷器件表面;
● 高防腐性,可耐各種酸堿溶液及有機(jī)溶劑;
兆聲清洗特點
兆聲波清洗不會產(chǎn)生強(qiáng)烈的空化效應(yīng),可以避免在清洗過程中造成對清洗對象表面的損傷與污染物殘留。兆聲波清洗效率高、時間短,使用清洗劑濃度低,化學(xué)試劑的消耗量少,因此對環(huán)境的危害水平較低。
設(shè)備優(yōu)勢
● 可直接安裝到清洗槽底部的兆聲振板,方便二次開發(fā);
● 兆聲發(fā)射聲場分布均勻,提高清洗均勻度;
● 極低的超聲空化效應(yīng),不會對器件表面造成損傷;
● 大功率兆聲波換能器,振板表面聲強(qiáng)可達(dá)5W/cm2以上;
● 石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù),無雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險;
● 可全面非金屬高防腐材質(zhì),適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑;
● 的換能器貼合技術(shù),更高的穩(wěn)定性和耐久性;
● 第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器,全面實現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動;
設(shè)備特性
● 輸入功率:600-1200W;
● 頻率:1MHz;
● 有效清潔面積:135-160mm;
● 兆聲振板,用于組裝槽式兆聲清洗設(shè)備;
● 1MHz超高頻兆聲波,更精細(xì)的聲處理效應(yīng);
● 均勻的兆聲聲場,振板表面聲強(qiáng)可超過5W/cm2;
● 的石英及藍(lán)寶石耦合技術(shù),無雜質(zhì)脫落風(fēng)險;
● 超低的聲空化效應(yīng),不損傷器件表面;
● 高防腐性,可耐各種酸堿溶液及有機(jī)溶劑;
● 兆聲發(fā)射聲場分布均勻,提高清洗均勻度;
● 可全面非金屬高防腐材質(zhì),適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑;
● 的換能器貼合技術(shù),更高的穩(wěn)定性和耐久性;
技術(shù)參數(shù)
● 輸入功率:600-1200W
● 頻率:1MHz
● 有效清潔面積:135-280mm
● 材質(zhì):電拋光表面
● 重量:3-7kg
● 對應(yīng)晶圓尺寸:6-8inch
● 液體溫度范圍:5-80℃
● 傳感器:PZT


兆 聲 清 洗 系 統(tǒng)
高 頻 兆 聲 清 洗 機(jī)
Tank type

YMMS
● 兆聲振板,用于組裝槽式兆聲清洗設(shè)備;
● 1MHz超高頻波,更精細(xì)的聲處理效應(yīng);
● 均勻的兆聲聲場,振板表面聲強(qiáng)可超過5W/cm2;
● 的石英及藍(lán)寶石耦合技術(shù),無雜質(zhì)脫落風(fēng)險;
● 超低的聲空化效應(yīng),不損傷器件表面;
● 高防腐性,可耐各種酸堿溶液及有機(jī)溶劑;
兆聲清洗特點
兆聲波清洗不會產(chǎn)生強(qiáng)烈的空化效應(yīng),可以避免在清洗過程中造成對清洗對象表面的損傷與污染物殘留。兆聲波清洗效率高、時間短,使用清洗劑濃度低,化學(xué)試劑的消耗量少,因此對環(huán)境的危害水平較低。
設(shè)備優(yōu)勢
● 可直接安裝到清洗槽底部的兆聲振板,方便二次開發(fā);
● 兆聲發(fā)射聲場分布均勻,提高清洗均勻度;
● 極低的超聲空化效應(yīng),不會對器件表面造成損傷;
● 大功率兆聲波換能器,振板表面聲強(qiáng)可達(dá)5W/cm2以上;
● 石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù),無雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險;
● 可全面非金屬高防腐材質(zhì),適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑;
● 的換能器貼合技術(shù),更高的穩(wěn)定性和耐久性;
● 第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器,全面實現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動;
設(shè)備特性
● 輸入功率:600-1200W;
● 頻率:1MHz;
● 有效清潔面積:135-160mm;
● 兆聲振板,用于組裝槽式兆聲清洗設(shè)備;
● 1MHz超高頻兆聲波,更精細(xì)的聲處理效應(yīng);
● 均勻的兆聲聲場,振板表面聲強(qiáng)可超過5W/cm2;
● 的石英及藍(lán)寶石耦合技術(shù),無雜質(zhì)脫落風(fēng)險;
● 超低的聲空化效應(yīng),不損傷器件表面;
● 高防腐性,可耐各種酸堿溶液及有機(jī)溶劑;
● 兆聲發(fā)射聲場分布均勻,提高清洗均勻度;
● 可全面非金屬高防腐材質(zhì),適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑;
● 的換能器貼合技術(shù),更高的穩(wěn)定性和耐久性;
技術(shù)參數(shù)
● 輸入功率:600-1200W
● 頻率:1MHz
● 有效清潔面積:135-280mm
● 材質(zhì):電拋光表面
● 重量:3-7kg
● 對應(yīng)晶圓尺寸:6-8inch
● 液體溫度范圍:5-80℃
● 傳感器:PZT
