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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司


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金屬薄膜制備專用電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間：2022-10-15 09:21:39瀏覽次數(shù)：116次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：87條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡介

關(guān)鍵詞：熱障層、紅外波導、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路金屬膜、Ni、Pt、Al、Au、Ge、Ti型號：MEB400S

詳細介紹

 

關(guān)鍵詞：熱障層、紅外波導、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、

              歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路

             金屬膜、Ni、Pt、Al、Au、Ge、Ti

 

型號：MEB 400S，  產(chǎn)地：歐洲， 應(yīng)用：沉積金屬薄膜

 

坩堝：8×12cc, 材料分別是Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, Au金屬

 

電子槍：10kW

 

真空系統(tǒng)：采用低溫泵+干泵

                  配備薄膜真空計、潘寧/皮拉尼真空計

 

樣品臺：可接納4英寸襯底

 

襯底旋轉(zhuǎn)：雙星新運動

 

膜厚控制儀：沉積速率0.01A/s,  厚度分辨率0.1A

 

Load Lock可選

 

控制系統(tǒng)：全自動控制，半自動和手動模式可用

        支持多級用戶權(quán)限設(shè)置和管理
 
        支持設(shè)備遠程操作、監(jiān)控、診斷和維護
       
        系統(tǒng)自動報警及定位故障

 

若對我們的設(shè)備感興趣，歡迎聯(lián)系我們！

 

 

 


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