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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司


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電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)用于金屬薄膜沉積

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更新時(shí)間：2022-10-15 09:20:12瀏覽次數(shù)：90次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

關(guān)鍵詞：熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路用于金屬薄膜沉積、金屬化6個(gè)坩堝分別為：Pd

詳細(xì)介紹

 

關(guān)鍵詞：熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、

              歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路

 

 

 

 

 

 

 

 

 

用于金屬薄膜沉積、金屬化

 

6個(gè)坩堝分別為：Pd, NiCr, Au, Ge, Ti, Ni

 

襯底大小為3英寸

 

 

主腔體采用擴(kuò)散泵，LOAD LOCK采用分子泵

 

采用10kW電子束蒸發(fā)源

 

配備等離子體清洗襯底

 

全自動(dòng)電腦控制、半自動(dòng)和手動(dòng)模式可用

 

支持遠(yuǎn)程維護(hù)和操作

 


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