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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司


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金屬薄膜制備專(zhuān)用熱蒸鍍鍍膜系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2022-10-15 09:18:37瀏覽次數(shù):94次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:87條

所在地區(qū):上海上海

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào):MEB450S

詳細(xì)介紹

型號(hào):MEB450S,   產(chǎn)地:歐洲,  應(yīng)用:沉積金屬薄膜

 

蒸鍍腔體:高600mm、寬450mm、深450mm

熱蒸鍍?cè)矗?個(gè)熱蒸鍍?cè)?/span>

 

樣品臺(tái): 可加載4×60mm襯底

襯底旋轉(zhuǎn):10 rpm

襯底加熱:熱阻絲加熱可達(dá)300℃

                  采用熱電偶控溫

 

厚度控制:采用 石英晶振膜厚控制儀

 

襯底清洗及刻蝕:

                 配備直流離子槍

                 Ar、N2氣路用于反應(yīng)離子束刻蝕

                 刻蝕不均勻性±4% @ 60mm晶圓

                 離子槍到襯底距離為300mm

              

控制系統(tǒng):全自動(dòng)控制,半自動(dòng)和手動(dòng)模式可用

        支持多級(jí)用戶(hù)權(quán)限設(shè)置和管理
 
        支持設(shè)備遠(yuǎn)程操作、監(jiān)控、診斷和維護(hù)
       
        系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警及定位故障

 

 

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