NSR-S320F 的平臺(tái)在尼康的浸入式掃描儀中得到驗(yàn)證，確保在客戶領(lǐng)域及早實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行和高生產(chǎn)率。

NSR-S320F 是一款能夠滿足這種設(shè)備需求的掃描儀。通過(guò)采用在我們的浸入式掃描儀中得到驗(yàn)證的 Streamlign 平臺(tái)，可確保盡早實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定操作和高生產(chǎn)率。與尼康之前的光刻機(jī)相比，吞吐量增加了大約兩倍，并且顯著降低了 CoO（擁有成本）。所達(dá)到的覆蓋精度水平可與 ArF 浸入式掃描儀相媲美，并且它還具有未來(lái)進(jìn)一步擴(kuò)展的潛力。

主要參數(shù)