XT:1250i是ASML發(fā)布的TWINSCAN XT:1250的浸入式版本。兩個(gè)系統(tǒng)均在65 nm節(jié)點(diǎn)上運(yùn)行，分辨率為70 nm。XT:1250適用于高級(jí)生產(chǎn)，而XT:1250i允許客戶測試和鑒定沉浸工藝。XT:1250和XT:1250i配備了Ultra-k1，這是一種硬件和軟件組合，使芯片制造商能夠縮減電路功能，確保高芯片產(chǎn)量，并限度地提高底線回報(bào)。

WINSCAN XT:1250i使用193nm波長的光，具有數(shù)值孔徑為0.85的透鏡系統(tǒng)。它被描述為預(yù)生產(chǎn)光刻掃描儀，標(biāo)志著在1150i的Twinscan上的一個(gè)進(jìn)步，這是ASML最初的浸入式原型，其數(shù)值孔徑相對(duì)較低，為0.75。