Maruyama冷卻器冰水機(jī)chiller維修服務(wù)

半導(dǎo)體專用溫控裝置（Semiconductor Chiller）主要用于半導(dǎo)體制造過程中精確控制反應(yīng)室的溫度。 它是一種自平衡循環(huán)裝置，主要由換熱器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)組成。 屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備利用制冷循環(huán)與工藝?yán)鋮s水的熱交換原理，高精度控制半導(dǎo)體工藝設(shè)備所用循環(huán)液的溫度、流量和壓力，以達(dá)到半導(dǎo)體工藝的溫度控制要求。它是集成電路制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備。根據(jù)不同工藝的要求，控制給定溫度的循環(huán)液流過半導(dǎo)體工藝設(shè)備反應(yīng)室內(nèi)的電極或壁，將熱量帶入半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備，從而傳遞熱量通過熱交換器進(jìn)行制冷。制冷劑，再通過制冷劑將熱量釋放給工藝?yán)鋮s水，從而實(shí)現(xiàn)工藝過程的溫度控制。

Maruyama Chiller丸山制冷機(jī)維修服務(wù)

2023年半導(dǎo)體專用溫控裝置市場規(guī)模約46.9億元，2019-2023年年復(fù)合增長率CAGR約為 %，預(yù)計未來將持續(xù)保持平穩(wěn)增長的態(tài)勢，到2030年市場規(guī)模將接近70.2億元，未來六年CAGR為6.0%。

Maruyama Chiller丸山制冷機(jī)維修服務(wù)   Maruyama溫控器

可維修Maruyama Chiller丸山制冷機(jī),eYR-8030SC、eYR-9030DC等Maruyama冰水機(jī)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機(jī)械拋光)，實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護(hù)裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營成本和保障生產(chǎn)

運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫

可用選項(xiàng)

省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節(jié)能。

可對應(yīng)溫度穩(wěn)定性（空載時）±0.05℃。

循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)

冷卻方式：水冷式