優(yōu)勢：

• 處理腔室加熱，安全緊急停止；
• 氮氣加熱，安全緊急停止；
• *從正面操作；
• 安全可靠的伺服電機，EN954-1，類別3；

選配件：

電導率測量

抗靜電設備

回收去離子水

另外配件：

氮氣外部壓力調(diào)節(jié)器

氮氣流量計

產(chǎn)品參數(shù)：

主營產(chǎn)品：

Laurell勻膠機     

Harrick等離子清洗機

Thetametrisis膜厚儀  

Microxact探針臺

ALD原子層沉積系統(tǒng)

TRION反應離子刻蝕機

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻機       

Novascan紫外臭氧清洗機

Nilt納米壓印機

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

Annealsys高溫退火爐

Kinematic程序剪切儀

Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng)     

Wabash/Carver自動壓片機