碳材料熱工轉裝備 *臥式化學氣相沉積爐（碳化硅）|ACME頂立科技 技術特征

可根據客戶需求設計尺寸，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；
采用*的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍??；
采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 
采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理；
采用設計防腐蝕真空機組，持續(xù)工作時間長，維修率極低。

碳材料熱工轉裝備 *臥式化學氣相沉積爐（碳化硅）|ACME頂立科技 主要配置

爐門：手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊       
爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC    
加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
工藝氣路系統(tǒng)：體積/質量流量計/手動閥/自動閥/進口/國產 
真空泵和真空計：進口/國產
PLC：歐姆龍/西門子          
控溫儀表：日本島電/英國歐陸 
熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號      
記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進口/國產
人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機  
電器元件：正泰/施耐德/西門子
料車：滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車

產品規(guī)格

以上化學氣相沉積爐參數可根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據，具體以技術方案和協(xié)議為準。

：（羊）