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真空測(cè)量的時(shí)候如何選擇真空計(jì)？
點(diǎn)擊次數(shù)：444 發(fā)布時(shí)間：2020-3-18
真空測(cè)量技術(shù)具有以下特點(diǎn)：
（1）測(cè)量范圍廣。 真空技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了1.1×105Pa到10-14Pa的壓力范圍，其寬度為19個(gè)數(shù)量級(jí)。 因此，不可能依靠測(cè)量原理和真空計(jì)來實(shí)現(xiàn)整個(gè)真空測(cè)量范圍。 不同類型的真空計(jì)對(duì)應(yīng)于不同的壓力測(cè)量范圍，即不同的范圍。
（2）大多數(shù)是間接測(cè)量。 除高壓真空區(qū)域（105?10Pa）外，均使用壓力的直接測(cè)量，而低壓空間氣體的大多數(shù)測(cè)量是通過利用低壓氣體的某些特性（例如導(dǎo)熱，電離）進(jìn)行的。 等等）用于間接真實(shí)空氣空間測(cè)量，因此校準(zhǔn)相對(duì)真空計(jì)更為重要。
（3）通常使用電氣測(cè)量技術(shù)。 大多數(shù)間接測(cè)量真空計(jì)都使用非電氣測(cè)量技術(shù)，因此測(cè)量響應(yīng)速度快，靈敏度高，并為自動(dòng)化創(chuàng)造了條件。
（4）測(cè)量值與氣體類型有關(guān)。 大多數(shù)真空計(jì)的讀數(shù)與被測(cè)氣體的類型和成分有關(guān)，因此您應(yīng)注意被測(cè)氣體的類型和成分，以免出現(xiàn)誤差。
（5）測(cè)量精度不高。 在間接壓力測(cè)量過程中，通常需要引入外部能量（例如熱能，電能，機(jī)械能，輻射能等）。 由于引入了這些外部能量，不可避免地會(huì)發(fā)生測(cè)量誤差，并且稀薄氣體可能產(chǎn)生的測(cè)量信號(hào)非常微弱。 這確定真空計(jì)的測(cè)量精度遠(yuǎn)低于其他物理儀器。
因此，將真空測(cè)量基準(zhǔn)儀器和標(biāo)準(zhǔn)儀器的精度設(shè)置為（2?10）×10-2，并且工作儀器的測(cè)量誤差在±20×10-2之內(nèi)相對(duì)準(zhǔn)確。 真空定時(shí)的選擇應(yīng)考慮以下幾個(gè)原則：
（1）所選擇的真空計(jì)在所用設(shè)備要求的壓力范圍內(nèi)是否具有足夠的測(cè)量精度和整體性能；
（2）被測(cè)氣體是否會(huì)損壞真空計(jì)；
（3）選定的真空計(jì)為所測(cè)氣體空間是否會(huì)影響；
（4）真空計(jì)測(cè)量的壓力值是全壓還是分壓，是否已校準(zhǔn)，以及儀器的靈敏度是否與被測(cè)氣體類型有關(guān)。
（5）選擇的真空計(jì)是否可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量，電氣指示和響應(yīng)時(shí)間？
(6）儀器的穩(wěn)定性，可靠性和使用壽命是多少？