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鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地鄭州市

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更新時(shí)間:2025-01-08 07:36:16瀏覽次數(shù):52次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。

詳細(xì)介紹

    鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。

      鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀通過(guò)定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

設(shè)備名稱

小型濺射儀

小型蒸鍍儀

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

工作電源

直流濺射電源

直流熱蒸發(fā)電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

≤1500W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

電壓≤12V  電流≤100A

真空

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

腔體真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

石英腔體φ160mm x 160mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

70-140mm

蒸發(fā)坩堝容積

3ML

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

≤1600℃

真空測(cè)量

皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

1 膜厚在線測(cè)試    2 分子泵


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